进行IV和CV测量，无需汇集或集成多种仪器，例如电源、电压表、电流表、LCR表、开关矩阵等。参数分析仪的主要测量元器件是电源/测量单元（SMU )。SMU是一种将电压/电流源功能和电压/电流表功能结合于单一模块中的测量模块。由于该参数分析仪将电源和测量电路紧密集成，所以相比使用多种独立仪器进行相同测量来说，可以提供更高的精度、分辨率以及更小的测量误差。